亚洲 欧美 综合 另类 中字丨久久人人爽人人爽人人片av麻烦丨国产久久精品丨视频一区国产第一页丨欧美精品中文字幕在线视

   P17壓電掃描臺(tái)是專門(mén)為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高可 靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)XY軸210μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

P17壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定    
• 掃描顯微
• 干涉/計(jì)量    • 表面檢測(cè)
• 晶圓定位    • 微操作

應(yīng)用實(shí)例
    P17系列壓電掃描臺(tái)適用于需要大行 經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測(cè)試、表面結(jié)構(gòu)分析 天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動(dòng)晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級(jí)精密定位。

P17壓電掃描臺(tái)特性

•zui大位移210μm

• zui大承載1kg

• 通孔尺寸：60×60mm

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 響應(yīng)速度快

XY二維掃描臺(tái)

      P17二維壓電掃描臺(tái)中心大通孔，滿行程位移210μm。

大通孔、大行程、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快

   P17系列壓電掃描臺(tái)為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速、高精度 掃描臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)XY軸210×210μm的位移行程，優(yōu)異 的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無(wú)摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、zui快的 響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5毫秒。

    閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列 閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。臺(tái)體中心 60×60mm大通孔，適合工業(yè)自動(dòng)化中的晶圓定位或微 操作等應(yīng)用。

P17壓電掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。