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供應(yīng)數(shù)量：	685
發(fā)布日期：	2025/4/2
有效日期：	2025/10/3
原產(chǎn) 地：	哈爾濱學(xué)府路191號(hào)
已獲點(diǎn)擊：	685
產(chǎn)品報(bào)價(jià)：

[詳細(xì)資料]

N31系列三維壓電馬達(dá)

三維閉環(huán)壓電馬達(dá)可在XYZ三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)，配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動(dòng)，每軸運(yùn)動(dòng)行程可選25、50、100mm，可達(dá)納米級(jí)分辨率。

產(chǎn)品特點(diǎn)

行程25、50、100mm/軸可選

納米級(jí)分辨率

增量式編碼器

承載達(dá)2.5kg

產(chǎn)品應(yīng)用

超分辨成像樣品移動(dòng)

微納裝備及制造

掃描電鏡（SEM）樣品操縱

納米聚焦與掃描

主動(dòng)光學(xué)

集成電路制造與檢測(cè)

顯微及納米CT

大范圍電子束直寫（EBL）

高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿

N31系列三維壓電馬達(dá)

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楊先生

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